Применение воздушного фильтра на заводе с полупроводниковым чипсом

Сегодня заводы полупроводникового чипа являются наиболее критическими из чистоты производственной среды, и они имеют наиболее требовательные требования к воздушным фильтрам. Пыль, прилипающая к чипу, может вызвать разомкнутую цепь или короткую замыкание и непосредственно влиять на выход.
Одним из показателей для измерения степени интеграции чипов является «ширина линии», то есть ширину проводов на интегрированной схеме. В возрасте, когда ширина линии была рассчитана в микрометрах, ограничение производственной среды на размер частиц пыли составлял менее 1/10 от ширины линии. Поскольку ширина линии продолжала уменьшаться, 1/10 стала 1/4 и 1/2. В 2002 году ширина линии процессора P4 в обычных микрокомпьютерах была уменьшена до 0,13 мкм. В настоящее время любая пыль может повредить цепь, а традиционное сравнение размера частиц и ширины линии устарело.

Применение воздушного фильтра на заводе с полупроводниковым чипом
Традиционная форма вентиляции на фишковой фабрике - «большой циркуляция». Весь потолок семинара покрыт фильтрами HEPA без перегородков, а весь этаж представляет собой обратную воздушную сетку. Теперь в некоторых семинарах чип-фабрик используются высокоэффективные фильтрующие блоки (FFU, Fanfilterunits) со своими поклонниками. Как большой цикл, так и формы FFU могут достичь достаточной чистоты, но существуют различия в управлении операцией и потреблении энергии.
Высокоэффективные фильтры и FFU, которые можно втиснуть на фабрику чипа, должны быть отсканированы и протестированы один за другим. Чип -фабрика считает, что тестовая пыль, используемая в традиционном методе проверки, сама по себе является источником загрязнения, поэтому фишковая фабрика не покупает метод пламени натрия и метод DOP.
Ионы морской соли в воздухе являются врагом всех электронных отраслей, но частицы морской солевой пыли относительно большие, а обычные фильтры могут их удалить. Некоторые люди говорят, что идеальное место для электроники должно быть далеко от побережья, но внутренняя фабрика чипов построена в экономически развитой прибрежной зоне, и этого достаточно, чтобы потратить немного больше денег на фильтр.
Производители чипов особенно обеспокоены возможными летучими элементами трассировки на фильтре. В последние годы был высокоэффективный фильтр-материал из волокна PTFE. Этот материал не имеет летучих веществ, но он статичен. Отфильтрованный воздух должен быть электрически нейтрализован, чтобы устранить ионы в воздухе. Там меньше скрытой опасности и больше проблем. В настоящее время цена высокоэффективных фильтрованных материалов PTFE является относительно высокой, а в большинстве высокоэффективных фильтров по-прежнему используются традиционная стекловолокно-фильтровая бумага. Возможные летучие вещества на высокоэффективном фильтре в основном поступают от связующего чистящего агента, тестирования пыли, вспомогательных материалов, используемых в производственном процессе, и производителя фильтров, который поставляет заводскую фабрику, должен усердно работать, чтобы избежать летучих веществ.
Однако, когда ширина линии чипа составляет 0,5 мкм, обнаруживается, что химические загрязнители в воздухе становятся основной опасностью, влияющей на выход. Следовательно, система кондиционирования воздуха более поздней фишковой фабрики обычно оснащена химическим фильтром. Химический фильтр, упомянутый Чип -фабрикой, представляет собой активированный углеродный фильтр, а его принцип и производственный процесс не являются сложными.
Источниками химических загрязнителей являются наружный воздух, само по себе, люди и материалы для оформления. В большинстве случаев дизайнеры и полевой персонал не могут сказать тип и концентрацию загрязняющих веществ. Следовательно, химический фильтр, используемый на заводе Chip, должен иметь две характеристики: производительность адсорбции широкого спектра и достаточные активированные углеродные материалы. Так называемая адсорбция широкого спектра означает, что она может поглощать более или менее что угодно. Самый традиционный, самый дешевый и неровный размер микропора гранулированный активированный углерод может иметь эту функцию. Если тип загрязняющих веществ может быть определен, на адсорбционном материале может быть выполнена целенаправленная химическая обработка для повышения адсорбционной способности конкретных загрязняющих веществ. Поставщики фильтров иногда также предоставляют соответствующие службы тестирования на месте, чтобы помочь пользователям определить использование химических фильтров, что требует, чтобы поставщики имели экспертов в химической фильтрации и имели тесную связь с авторитетными лабораториями. К сожалению, немногие производители внутренних фильтров усердно работали над этим, поэтому большинство химических фильтров, используемых в настоящее время на домашних фабриках, являются импортируемыми продуктами.