Aplicación del filtro de aire en la fábrica de chips de semiconductores

Hoy, las fábricas de chips de semiconductores son las más críticas para la limpieza del entorno de producción, y tienen los requisitos más exigentes para los filtros de aire. El polvo que se adhiere al chip puede causar un circuito abierto o un cortocircuito y afectar directamente el rendimiento.
Uno de los indicadores para medir el grado de integración de chips es el "ancho de línea", es decir, el ancho de los cables en el circuito integrado. En la edad en que el ancho de la línea se calculó en los micrómetros, la restricción del entorno de fabricación en el tamaño de partícula del polvo era inferior a 1/10 del ancho de la línea. A medida que el ancho de la línea continuó disminuyendo, 1/10 se convirtió en 1/4 y 1/2. En 2002, el ancho de línea del procesador P4 en microcomputadoras ordinarias se redujo a 0,13 μm. En este momento, cualquier polvo puede dañar el circuito, y la comparación tradicional del tamaño de partícula y el ancho de la línea está desactualizado.

Aplicación del filtro de aire en una fábrica de chips de semiconductores
La forma tradicional de ventilación en la fábrica de chips es "gran circulación". Todo el techo del taller está cubierto de filtros HEPA sin particiones, y todo el piso es una red de aire de retorno. Ahora algunos talleres de fábricas de chips usan unidades de filtro de alta eficiencia (FFU, FanFilterunits) con sus propios fanáticos. Tanto las formas de ciclo grande como FFU pueden lograr una limpieza suficiente, pero existen diferencias en la gestión de la operación y el consumo de energía.
Los filtros de alta eficiencia y las FFU que se pueden exprimir en la fábrica de chips deben escanear y probar uno por uno. La fábrica de chips cree que el polvo de prueba utilizado en el método de inspección tradicional es en sí misma una fuente de contaminación, por lo que la fábrica de chips no compra el método de llama de sodio y el método DOP.
Los iones de sal marina en el aire son el enemigo de todas las industrias electrónicas, pero las partículas de polvo de sal marina son relativamente grandes, y los filtros ordinarios pueden eliminarlas. Algunas personas dicen que la ubicación ideal para la industria electrónica debería estar lejos de la costa, pero la fábrica de chips nacionales está construida en el área costera desarrollada económicamente, y es suficiente para gastar un poco más de dinero en el filtro.
Los fabricantes de chips están particularmente preocupados por los posibles elementos volátiles de traza en el filtro. En los últimos años, ha habido un material de filtro de alta eficiencia de fibra PTFE. Este material no tiene materia volátil, pero es estática. El aire filtrado debe ser neutralizado eléctricamente para eliminar los iones en el aire. Hay menos peligro oculto y más un problema. En la actualidad, el precio de los materiales de filtro de alta eficiencia PTFE es relativamente alto, y la mayoría de los filtros de alta eficiencia todavía usan papel de filtro de fibra de vidrio tradicional. Los posibles volátiles en el filtro de alta eficiencia provienen principalmente del aglutinante, el agente de limpieza, el polvo de prueba, los materiales auxiliares utilizados en el proceso de fabricación y el fabricante del filtro que suministra la fábrica de chips debe trabajar duro para evitar los volátiles traza.
Sin embargo, cuando el ancho de línea del chip es tan pequeño como 0.5 μm, se encuentra que los contaminantes químicos en el aire se convierten en el peligro principal que afecta el rendimiento. Por lo tanto, el sistema de aire acondicionado de la fábrica de chips posterior generalmente está equipado con un filtro químico. El filtro químico mencionado por la fábrica de chips es un filtro de carbono activado, y su principio y proceso de fabricación no son complicados.